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精密陶瓷結(jié)構(gòu)件

產(chǎn)品分類

精密陶瓷結(jié)構(gòu)件
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大尺寸精密陶瓷加工_TFT-LCD設(shè)備氧化鋁腔體遮蔽件(Shield)

TFT-LCD設(shè)備氧化鋁腔體遮蔽件(Shield)_大尺寸精密陶瓷加工
半導(dǎo)體大尺寸精密陶瓷零部件
TFT-LCD設(shè)備氧化鋁腔體遮蔽件(Shield)_大尺寸精密陶瓷加工
半導(dǎo)體大尺寸精密陶瓷零部件
TFT-LCD設(shè)備氧化鋁腔體遮蔽件(Shield)_大尺寸精密陶瓷加工
半導(dǎo)體大尺寸精密陶瓷零部件
TFT-LCD設(shè)備氧化鋁腔體遮蔽件(Shield)_大尺寸精密陶瓷加工
半導(dǎo)體大尺寸精密陶瓷零部件

產(chǎn)品摘要：精密陶瓷部件在半導(dǎo)體制造設(shè)備中具有不可替代的重要作用，幾乎覆蓋所有半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備。精城特瓷依托30年多年技術(shù)積累，開發(fā)全流程精密陶瓷制造和加工體系，以氧化鋁、氧化鋯、碳化硅、氮化鋁等材料支持半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)化。

產(chǎn)品品牌：精城

生產(chǎn)廠家：湖南精城特瓷

產(chǎn)品分類：精密陶瓷結(jié)構(gòu)件

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  • 產(chǎn)品詳情

一、TFT-LCD技術(shù)簡介

        TFT-LCD（薄膜晶體管液晶顯示器）是一種基于薄膜晶體管（TFT）技術(shù)的半導(dǎo)體顯示面板，其核心結(jié)構(gòu)由兩片玻璃基板夾持液晶層構(gòu)成。下層玻璃基板集成TFT陣列，每個(gè)像素由獨(dú)立的TFT開關(guān)控制，通過調(diào)節(jié)電壓改變液晶分子排列方向，從而控制背光源的透光率；上層玻璃基板覆蓋紅、綠、藍(lán)三色濾光片，通過色光混合實(shí)現(xiàn)彩色顯示。該技術(shù)采用非晶硅（a-Si）或氧化物半導(dǎo)體（如IGZO）作為TFT溝道層材料，結(jié)合濺射、化學(xué)氣相沉積（CVD）和光刻等精密工藝制造。
        TFT-LCD的優(yōu)勢體現(xiàn)在高分辨率（可達(dá)8K）、低功耗（約為CRT的1/10）、輕薄化（厚度可低于1mm）及寬溫工作范圍（-20℃至50℃）。其制造涉及陣列（Array）、彩膜（CF）、成盒（Cell）和模組（Module）四大工藝，其中陣列工藝通過5-7次光刻步驟形成復(fù)雜電路結(jié)構(gòu)，精度達(dá)微米級(jí)。當(dāng)前技術(shù)趨勢聚焦大尺寸化（玻璃基板達(dá)950×1200mm）、柔性顯示（柔性基板結(jié)合低溫多晶硅技術(shù)）及車載顯示（高響應(yīng)速度、抗震動(dòng)性能優(yōu)化）。作為主流顯示技術(shù)，TFT-LCD廣泛應(yīng)用于智能手機(jī)、電視、車載儀表及工業(yè)控制等領(lǐng)域，市場規(guī)模持續(xù)擴(kuò)大。

二、氧化鋁腔體遮蔽件（Shield）

        氧化鋁陶瓷具有高硬度、高機(jī)械強(qiáng)度、優(yōu)異的耐磨性和耐高溫性，同時(shí)具備高電阻率和良好的電絕緣性能，能夠在真空、高溫等極端環(huán)境下滿足半導(dǎo)體制造的復(fù)雜性能要求，在TFT-LCD等半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中廣泛用于承載、封裝和隔離部件，具體產(chǎn)品如圓環(huán)類組件（Ring）、腔體遮蔽件（Shield）、承載固定組件、傳送組件；以及真空吸盤、靜電卡盤、陶瓷加熱器、拋光臺(tái)等模塊類陶瓷零部件。
        氧化鋁腔體遮蔽件（Shield）是TFT-LCD制造中用于工藝控制的精密組件，其核心功能在于通過物理遮擋實(shí)現(xiàn)局部區(qū)域的加工保護(hù)。主要功能特性：
        （1）高精度定位控制‌：腔體遮蔽件通過高精度開孔設(shè)計(jì)（公差≤5μm），在曝光或刻蝕工序中精準(zhǔn)限定加工區(qū)域，確保TFT陣列中薄膜晶體管的柵極、源漏極等關(guān)鍵結(jié)構(gòu)的位置一致性。
        （2）熱穩(wěn)定性‌：氧化鋁陶瓷基材可耐受300℃以上的高溫退火工藝，確保在高溫環(huán)境下的尺寸穩(wěn)定性。
        （3）表面處理工藝‌：遮蔽件接觸面需達(dá)到鏡面拋光（Ra≤0.02μm），避免與玻璃基板摩擦產(chǎn)生微顆粒污染。
        （4）工藝污染阻隔‌：采用特殊涂層的遮蔽件可在化學(xué)氣相沉積（CVD）過程中隔離反應(yīng)氣體滲透，防止非目標(biāo)區(qū)域形成寄生膜層。
 
 
       精城特瓷為某半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)定制的997高純氧化鋁大尺寸陶瓷部件，尺寸近2米×0.5米，厚度僅7毫米。產(chǎn)品通過等靜壓成型與精密加工實(shí)現(xiàn)高強(qiáng)度、零缺陷和微米級(jí)平整度，滿足半導(dǎo)體制造對(duì)超薄、高強(qiáng)、耐磨損材料的嚴(yán)苛需求。

三、生產(chǎn)與加工能力

        精城特瓷擁有超過30年的精細(xì)陶瓷研發(fā)與生產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)，公司建立起了工業(yè)陶瓷產(chǎn)品研發(fā)、制粉、成型、燒結(jié)，以及陶瓷結(jié)構(gòu)件設(shè)計(jì)、模具加工、陶瓷精密加工、檢測與裝配等全流程的陶瓷產(chǎn)品設(shè)計(jì)、生產(chǎn)與加工能力，是精細(xì)陶瓷領(lǐng)域的制造商、供應(yīng)商和方案提供商；可為客戶提供測繪與方案設(shè)計(jì)，來圖來樣定制、來件加工等服務(wù)。
        公司的主要陶瓷材質(zhì)有碳化硅、氧化鋁、氧化鋯、ZTA、ARZ、碳化硼、碳化鈦、氮碳化鈦等。
        ? 結(jié)構(gòu)陶瓷加工中心
 

項(xiàng)目 加工精度
直線度 真圓度 同軸度 同心度 跳動(dòng) 0.005mm
平面度 平行度 垂直度 0.005mm
位置度 對(duì)稱度 0.005mm
平面光潔度 曲面光潔度 異形光潔度  Ra0.02
 

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